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高性價比產品, 高精度,多氣體多量程,自動調零,量程5sccm-50slm ,橡膠密封,通訊方式:模擬0-5V、模擬0-10V、數字485、DeviceNet
CS200-A型 數字式氣體質量流量控制器高性價比產品, 高精度,多氣體多量程,自動調零,量程5sccm-50slm ,橡膠密封,通訊方式:模擬0-5V、模擬0-10V、數字485、DeviceNet
| 產品型號 | CS200-A |
| 量程(N2) | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM |
| ( 0~1,2,3,5,10,20,50)SLM | |
| 精度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
| ±0.35% F.S.(<35% F.S.) | |
| 重復精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±0.5% FS |
| 響應時間 | ≤1sEC |
| 閥類型 | Normally Closed or Normally Open |
| 溫度系數 | Zer ≤±0.05% F.S./℃;Span: ≤±0.1% F.S.℃ |
| 零點漂移指標 | <0.6%F.S. per year without autozero |
| 表面粗糙度 | 25µinch |
| 工作環境溫度 | (5~45)℃ |
| 輸入信號 | Digital:RS485/DeviceNet/Profibus Analog:(0~5)VDC(default)/ (4~20)mA/(0~20)mA< |
| 模擬流量輸出信號 | 0-5V和4-20mA |
| 模擬流量控制信號 | 0-5V和4-20mA |
| 電源要求 | ±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC(400mA) |
| 電氣連接 | D sub 9 pins male, D sub 15 pins male, DeviceNet male, DeviceNet male+Analog Output,Profibus |
| 工作壓差范圍 | (0.05~0.35) MPa (≤10slm) (0.1~0.35) MPa(20slm, 30slm) (0.2~0.45) MPa(50slm) |
| 最大耐壓 | 3MPa |
| 漏率 | 1×10-9atm·cc / sec He(1×10-10 Pa·m3 / sec He) |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton |
| 接頭尺寸 | VCR1/4” M;雙卡套&pHi;3、Φ6、Φ10、1/4”、1/8” |
| 重量 | 1kg |








